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产品中心
做MPCVD设备中国智造领军者
| 产品中心
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产品应用
设备介绍
introduction
我们公司已经开发了一系列高效的MPCVD系统,随着系统不断迭代升级,设备性能卓越,操作方便,性价比高。我公司可根据客户要求,定制开发个性化系统。
M82 750B 6K
技术参数
M82 730 6K
技术参数
FM公司6KW微波发生器
更多详情
大功率碟形腔室研制中
×
M82 750B 6K
技术参数
项目
数据
设备型号
M82 750B 6K
操作系统
SXG-MPCVD控制系统
微波频率
2450MHz,输出功率:6KW
反应腔
承载功率≦10KW
生长台
Φ2英寸
工作压力
10-200Torr
标准气路
5路/6路(可定制)
测温系统
红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)
<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵
17.1 m3/H
设备尺寸
1500MM(长)*800MM(深)*1980MM(高)
设备重量
490KG
×
M82 730 6K
技术参数
项目
数据
设备型号
M82 730 6K
操作系统
SXG-MPCVD控制系统
微波频率
2450MHz,输出功率:6KW
反应腔
承载功率≦10KW
生长台
Φ2英寸
工作压力
10-200Torr
标准气路
5路/6路(可定制)
测温系统
红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)
<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵
17.1 m3/H
设备尺寸
主机:1500MM(长)*700MM(深)*1880MM(高)
电控柜:545MM(长)*765MM(深)*1740MM(高)
设备重量
主机:375KG;电控柜:185KG
×
FM公司6KW微波发生器
FM - PS6kW ac display MAGNETRON
联系方式
E-mail: service@shunxingu.com
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