做MPCVD设备的领军者
一家专业生产MPCVD设备的科技型企业
让天下没有难做的钻石
振兴MPCVD民族工业
坚持“设备+工艺”发展方针
实现产业链的闭环发展和双向优化
COMPANY PROFILE
做MPCVD设备的领军者
上海顺心谷半导体科技有限公司为中德合资企业,是一家专业生产MPCVD设备的科技型企业。
公司位于上海青浦区,具备一流的洁净生产车间和生产测试设备。我们有深厚的技术积累,核心团队由德国归国博士主导,研发团队由业内尖端技术人员组成,与国内外多所大学及研发机构建立了长期战略合作关系。
After-sales service
项目制一站式解决方案
1. 项目制一站式解决方案:为客户提供设备以及项目配套解决方案;
2. 工艺支持:提供常规MPCVD生产气体配比;
3. 技术支持:提供365*24小时咨询服务,及时响应客户需求;
After-sales service
项目制一站式解决方案
1. 项目制一站式解决方案:为客户提供设备以及项目配套解决方案;
2. 工艺支持:提供常规MPCVD生产气体配比;
3. 技术支持:提供365*24小时咨询服务,及时响应客户需求;
Microwave plasma chemical vapor deposition system equipment
微波等离子化学气相沉积系统设备
--友好的用户界面,齐全的功能应用和保护程序,确保设备安全高效运转;
--全管路温控的水冷式圆柱及可实时自动调节生长台;
--设备精密、集成度高、空间利用率高;
--腔体结构合理,通过仿真定制适配器,培育效率高;
--全进口微波系统,能量密度高,大功率微波密度内,等离子球能保持高度稳定性;
--自动/手动灵活切换操作并具备庞大的数据记录功能;
--高精密流量控制,支持长时间稳定运行;
--根据客户需要,可选择使用热像仪监测温度场,培育全程AI监控及干预;
操作系统:SXG-MPCVD系统
微波频率:2450MHZ
输出功率:6KW
红外测温:300-1400℃
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